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1 Amplitude control system of drive-mode oscillations of MEMS gyroscopes [会议论文]

作者:Nesterenko, T.G.^1;Barbin, E.S.^1;Baranov, P.F.^1;等

关键词:Amplitude control;Capacitance change;...

会议举办机构:National Research Tomsk Polytechnic University, Tomsk, Russia^1

会议时间:2019

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2 The change in the surface topography of magnesium under high-flux C ion irradiation [会议论文]

作者:Potyomkin, G.V.^1;Ligachev, A.E.^2;Zhidkov, M.V.^3,4;等

关键词:Comb structure;High flux;...

会议举办机构:Tomsk Polytechnic University, 30 Lenina ave., Tomsk

会议时间:2015

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3 Patterning of structures by e-beam lithography and ion etching for gas sensor applications [会议论文]

作者:Durina, P.^1;Bencurova, A.^2;Konecnikova, A.^2;等

关键词:Comb structure;e-Beam lithography;...

会议举办机构:Department of Experimental Physics, FMFI, Commenius University, F2 Mlynská dolina, 84248 Bratislava, Slovakia^1

会议时间:

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